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用于1 sccm到100 slm流量的層流元件 molbloc-L 是與 molbox 質(zhì)量流量終端結合使用的層流元件。molbloc 流量路徑位于 molbloc 內，是活塞與結合緊密的汽缸體之間的縱向環(huán)形間隙。通過(guò)調整這個(gè)間隙的尺寸，可獲得不同的 molbloc 量程。對于高流量量程（1E4 尺寸及以上），，需要使用配有更大活塞的更大 molbloc 機體。 特性一覽 · 可與現有的 molbox1+ 和 molbox RFM 質(zhì)量流量終端以及 COMPASS 軟件結合使用 · 整合了過(guò)濾器，可保護其免受污染 · 完整的氣體溫度調節和測量 · 連續、實(shí)時(shí)的讀數 · 可以實(shí)現全自動(dòng) · 無(wú)活動(dòng)部件
molbloc-L量程
通用配件:
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